Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов
Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов. Представлены оглавление, предисловие и первый раздел книги
Kategorie:
Tom:
Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники
Rok:
2010
Wydawnictwo:
БИНОМ. Лаборатория знаний
Język:
russian
Strony:
392
ISBN 10:
5996303353
ISBN 13:
9785996303359
Serie:
Нанотехнология
Plik:
PDF, 118 KB
IPFS:
,
russian, 2010